整条生产线需步调一致，高效稳定运转，对系统响应、可靠性要求极高；
应对品类繁多的产品，需要整条产线具备高度柔性能力，需要快速灵活部署；
半导体部件体积很小，工序繁多，对自动化设备要求体积小巧，伺服系统更是如此；
高安全性，半导体产品及生产设备都是高端精密仪器，需要系统具备极高的安全性，确保产品、设备、人员安全。